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白光干涉(WLI)

  • 20×_Mirau型白光干涉物镜设计

    摘要：对于具有动态特性的ＭＥＭＳ陀螺仪表面形貌的检测，采用传统接触式检测方式难以实现。本文设计一款无限远场校正的２０×Ｍｉｒａｕ型白光干涉显微物镜成像系统，实现对ＭＥＭＳ陀螺仪无接触式的表面缺陷检测。系统工作于可见光波段，数值孔径ＮＡ＝０３，放大倍率为２０倍，工作距离３１ｍｍ，总体长度为４５８５ｍｍ。系统包含光学... 阅读全文>>
     2024/2/15 20:25:15  阅读：232  评论：0
    标签：白光 干涉 设计 
  • WLI100XMRTC 白光干涉物镜

    WLI100XMRTC 白光干涉物镜

    WLI100XMRTC白光干涉物镜该物镜专为Mirau型白光干涉测量而特别设计，具有较高的温度容许度。卓越的0.8数值孔径能够实现更优的聚光性能，工作距离为0.7mm。白光干涉测量物镜WLI100XMRTC专为与白光干涉测量集成使用而设计的物镜。每只物镜均可利用内置校正环对热漂移进行补偿。SpecificationsM... 阅读全文>>
     2024/2/15 19:28:10  阅读：269  评论：0
    标签：白光 干涉 
  • 白光干涉(WLI)光学系统种类(Michelson、Mirau、Linnik)

    白光干涉(WLI)光学系统种类(Michelson、Mirau、Linnik)

    白光干涉显微镜（WhitelightInterferencmicroscope），是使用光干涉原理来展示物件的内部或表面的显微镜。通过纳米垂直扫描器与干涉物镜使分辨率达到0.1nm，因此应用于3D高精度量测。白光干涉显微镜在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和... 阅读全文>>
     2024/2/15 18:48:47  阅读：1094  评论：0
    标签：白光 干涉 光学 系统 种类 
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